Chi tiết về tiến trình zombie, orphan và daemon như sau:
Tiến trình Zombie (Zombie Processes)
Tiến trình zombie là tiến trình đã hoàn thành thực thi nhưng vẫn còn mục trong bảng tiến trình (process table). Tiến trình zombie thường xảy ra với tiến trình con, vì tiến trình cha vẫn cần đọc trạng thái thoát (exit status) của con. Khi việc này hoàn tất bằng system call wait, tiến trình zombie bị loại khỏi bảng tiến trình. Điều này gọi là "reaping the zombie process" (thu hoạch tiến trình zombie).
Sơ đồ minh họa tạo và chấm dứt tiến trình zombie:

Tiến trình zombie không sử dụng tài nguyên hệ thống nhưng giữ lại process ID. Nếu có nhiều tiến trình zombie, tất cả process ID khả dụng bị chiếm dụng. Điều này ngăn cản các tiến trình khác chạy do không có process ID.
Tiến trình Orphan (Orphan Processes)
Tiến trình orphan là tiến trình vẫn đang chạy mặc dù tiến trình cha đã kết thúc hoặc thoát. Tiến trình có thể bị orphan một cách ý định hoặc không ý định.
Tiến trình orphan ý định chạy nền (background) không cần hỗ trợ thủ công. Thường dùng để khởi động dịch vụ chạy vô thời hạn hoặc hoàn thành công việc lâu dài không cần chú ý người dùng.
Tiến trình orphan không ý định được tạo khi tiến trình cha bị crash hoặc kết thúc. Các tiến trình orphan không ý định có thể tránh được bằng cơ chế nhóm tiến trình (process group mechanism).